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真空等離子設備的清洗過程
2019.11.26
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真空等離子設備的工作基本原理是在真空狀態下,等離子作用在控制和定性方法下能夠電離氣體,利用真空泵將工作室進行抽真空達到0.02-0.03mbar 的真空度,再在高頻發生器作用下,將氣體進行電離,形成等離子體(物質第四態)。那么真空等離子設備的清洗過程是怎樣的?下面來讓我們一起去了解下:
 
  1、被清洗的工件送入真空等離子設備并加以固定,啟動運行裝置,開始排氣,使真空室內的真空程度達到10Pa左右的標準真空度。通常來說,排氣時間大約需要幾分鐘。
  2、向真空室內引入真空等離子設備用的氣體,并維持腔內壓強穩定。按照所需清洗材質的不同,可分別使用氧氣、氬氣、氫氣、氮氣、四氟化碳等氣體。
 
  3、在真空室內的電極與接地裝置之間施加高頻電壓,使氣體被擊穿,并通過輝光放電而產生等離子化和產生等離子體,讓在真空室產生的等離子體完全籠罩住被處理工件,真空等離子設備開始清洗作業,一般清洗處理持續幾十秒到幾十分鐘不等。
 
  4、真空等離子設備清洗完畢后必須要切斷電源,并通過真空泵將氣體和氣化的污垢抽走排出。
 
  上述就是真空等離子設備的清洗過程,希望看完能夠對您有所幫助,如您想了解更多歡迎繼續瀏覽本公司網站!
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